Journal of Vacuum Science & Technology B
| Формат: | Електронний ресурс Журнал |
|---|---|
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
AVS: Science & Technology of Materials, Interfaces, and Processing
|
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | Full text available on AIP Off-campus access |