Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Επιστημονικό περιοδικό
Γλώσσα:English
Έκδοση: SPIE
Διαθέσιμο Online:Full text available on SPIE Digital Library
Off-campus access