Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS. SPIE.
Chicago Style (17. basım) AtıfJournal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS. SPIE.
MLA (8th ed.) AtıfJournal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS. SPIE.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..