Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems. SPIE.
Chicago-viite (17. p.)Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems. SPIE.
MLA-viite (8. p.)Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems. SPIE.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.