Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems. SPIE.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems. SPIE.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems. SPIE.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.