Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS. Cambridge University Press.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS. Cambridge University Press.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS. Cambridge University Press.
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