Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena
| Định dạng: | Điện tử Tạp chí |
|---|---|
| Ngôn ngữ: | English |
| Được phát hành: |
AVS: Science & Technology of Materials, Interfaces, and Processing
|
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | Full text available on AIP Off-campus access |
| Được phát hành: | Vol. 1, no. 1 |
|---|---|
| Mô tả sách: | <strong>Off-Campus Access:</strong> Athens ID and Password Required <strong>On-Campus Access:</strong> No User ID or Password Required |
| Mô tả vật lý: | 1 online resource |
| Định dạng: | Mode of access: Internet |
| số ISSN: | 0734-211X 2327-9877 |
| Truy cập: | Electronic access restricted to authorized BRAC University faculty, staff and students |