Mack, C. A. (2009). Field Guide to Optical Lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.665802
Chicago (17e ed.) BronvermeldingMack, Chris A. Field Guide to Optical Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.665802.
MLA (8e ed.) BronvermeldingMack, Chris A. Field Guide to Optical Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.665802.
Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.