Mack, C. A. (2009). Field Guide to Optical Lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.665802
Chicago Style (17th ed.) CitationMack, Chris A. Field Guide to Optical Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.665802.
ציטוט MLAMack, Chris A. Field Guide to Optical Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.665802.
אזהרה: ציטוטים אלה לעיתים לא מדויקים ב 100%.