Mack, C. A. (2009). Field Guide to Optical Lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.665802
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Mack, Chris A. Field Guide to Optical Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.665802.
Παραπομπή σε μορφή MLA (8th εκδ.)Mack, Chris A. Field Guide to Optical Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.665802.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.