Mack, C. A. (2009). Field Guide to Optical Lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.665802
Style de citation Chicago (17e éd.)Mack, Chris A. Field Guide to Optical Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.665802.
Style de citation MLA (8e éd.)Mack, Chris A. Field Guide to Optical Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.665802.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.