A Lithographer's Guide to Patterning CMOS Devices with Directed Self-Assembly
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Электронный ресурс eКнига |
| Язык: | English |
| Опубликовано: |
SPIE,
2020
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Full text available on SPIE Digital Library Off-campus access |