A Lithographer's Guide to Patterning CMOS Devices with Directed Self-Assembly
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Elettronico eBook |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
SPIE,
2020
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| Soggetti: | |
| Accesso online: | Full text available on SPIE Digital Library Off-campus access |