A Lithographer's Guide to Patterning CMOS Devices with Directed Self-Assembly
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Μορφή: | Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
SPIE,
2020
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | Full text available on SPIE Digital Library Off-campus access |