Wong, A. K. (2009). Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.401208
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Wong, Alfred Kwok-Kit. Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.401208.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Wong, Alfred Kwok-Kit. Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.401208.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.