Wong, A. K. (2009). Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.401208
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումWong, Alfred Kwok-Kit. Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.401208.
MLA (8րդ խմբ.) ՄեջբերումWong, Alfred Kwok-Kit. Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.401208.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.