Wong, A. K. (2009). Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.401208
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Wong, Alfred Kwok-Kit. Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.401208.
Παραπομπή σε μορφή MLA (8th εκδ.)Wong, Alfred Kwok-Kit. Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.401208.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.