Wong, A. K. (2009). Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.401208
Citace podle Chicago (17th ed.)Wong, Alfred Kwok-Kit. Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.401208.
Citace podle MLA (8th ed.)Wong, Alfred Kwok-Kit. Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.401208.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..