Levinson, H. J. (2011). Principles of Lithography, 3rd Ed. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.865363
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography, 3rd Ed. SPIE, 2011. https://doi.org/10.1117/3.865363.
Цитирование MLA (8-е изд.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography, 3rd Ed. SPIE, 2011. https://doi.org/10.1117/3.865363.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.