Levinson, H. J. (2011). Principles of Lithography, 3rd Ed. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.865363
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումLevinson, Harry J. Principles of Lithography, 3rd Ed. SPIE, 2011. https://doi.org/10.1117/3.865363.
MLA (8րդ խմբ.) ՄեջբերումLevinson, Harry J. Principles of Lithography, 3rd Ed. SPIE, 2011. https://doi.org/10.1117/3.865363.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.