Levinson, H. J. (2011). Principles of Lithography, 3rd Ed. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.865363
Style de citation Chicago (17e éd.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography, 3rd Ed. SPIE, 2011. https://doi.org/10.1117/3.865363.
Style de citation MLA (8e éd.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography, 3rd Ed. SPIE, 2011. https://doi.org/10.1117/3.865363.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.