Levinson, H. J. (2011). Principles of Lithography, 3rd Ed. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.865363
Chicago-viite (17. p.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography, 3rd Ed. SPIE, 2011. https://doi.org/10.1117/3.865363.
MLA-viite (8. p.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography, 3rd Ed. SPIE, 2011. https://doi.org/10.1117/3.865363.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.