Levinson, H. J. (2011). Principles of Lithography, 3rd Ed. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.865363
Citace podle Chicago (17th ed.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography, 3rd Ed. SPIE, 2011. https://doi.org/10.1117/3.865363.
Citace podle MLA (8th ed.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography, 3rd Ed. SPIE, 2011. https://doi.org/10.1117/3.865363.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..