Levinson, H. J. (2009). Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.601520
Chicago-referens (17:e uppl.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.601520.
MLA-referens (8:e uppl.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.601520.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.