Levinson, H. J. (2009). Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.601520
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.601520.
Цитирование MLA (8-е изд.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.601520.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.