Levinson, H. J. (2009). Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.601520
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումLevinson, Harry J. Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.601520.
MLA (8րդ խմբ.) ՄեջբերումLevinson, Harry J. Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.601520.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.