Levinson, H. J. (2009). Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.601520
Style de citation Chicago (17e éd.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.601520.
Style de citation MLA (8e éd.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.601520.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.