Levinson, H. J. (2009). Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.601520
Chicago-viite (17. p.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.601520.
MLA-viite (8. p.)Levinson, Harry J. Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.601520.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.