Levinson, H. J. (2009). Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.601520
Chicago (17e ed.) BronvermeldingLevinson, Harry J. Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.601520.
MLA (8e ed.) BronvermeldingLevinson, Harry J. Principles of Lithography, 2nd Ed. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.601520.
Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.