Yen, A. (2018). Optical Physics for Nanolithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.2314953
Chicago (17e ed.) BronvermeldingYen, Anthony. Optical Physics for Nanolithography. SPIE, 2018. https://doi.org/10.1117/3.2314953.
MLA (8e ed.) BronvermeldingYen, Anthony. Optical Physics for Nanolithography. SPIE, 2018. https://doi.org/10.1117/3.2314953.
Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.