Yen, A. (2018). Optical Physics for Nanolithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.2314953
Chicago-viite (17. p.)Yen, Anthony. Optical Physics for Nanolithography. SPIE, 2018. https://doi.org/10.1117/3.2314953.
MLA-viite (8. p.)Yen, Anthony. Optical Physics for Nanolithography. SPIE, 2018. https://doi.org/10.1117/3.2314953.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.