Optical and EUV Lithography: A Modeling Perspective
| Հիմնական հեղինակ: | |
|---|---|
| Ձևաչափ: | Էլեկտրոնային էլ․ գիրք |
| Լեզու: | English |
| Հրապարակվել է: |
SPIE,
2021
|
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | Full text available on SPIE Digital Library Off-campus access |
| Նյութի նկարագրություն: | <strong>Off-Campus Access:</strong> Athens ID and Password Required <strong>On-Campus Access:</strong> No User ID or Password Required |
|---|---|
| Ֆիզիկական նկարագրություն: | 1 online resource |
| Ձևաչափ: | Mode of access: Internet |
| ISBN: | 9781510639010 9781510639027 |
| DOI: | 10.1117/3.2576902 |
| Հասանելի: | Electronic access restricted to authorized BRAC University faculty, staff and students |