Levinson, H. J. (2009). Lithography Process Control. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.322162
Čikaški stil citiranja (17. izdanje)Levinson, Harry J. Lithography Process Control. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.322162.
MLA način citiranja (8. izdanje)Levinson, Harry J. Lithography Process Control. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.322162.
Upozorenje: Ovi citati možda nisu uvijek 100% točni.