Levinson, H. J. (2020). Extreme Ultraviolet Lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.2581446
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Levinson, Harry J. Extreme Ultraviolet Lithography. SPIE, 2020. https://doi.org/10.1117/3.2581446.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 8)Levinson, Harry J. Extreme Ultraviolet Lithography. SPIE, 2020. https://doi.org/10.1117/3.2581446.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.