Levinson, H. J. (2020). Extreme Ultraviolet Lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.2581446
Chicago-viite (17. p.)Levinson, Harry J. Extreme Ultraviolet Lithography. SPIE, 2020. https://doi.org/10.1117/3.2581446.
MLA-viite (8. p.)Levinson, Harry J. Extreme Ultraviolet Lithography. SPIE, 2020. https://doi.org/10.1117/3.2581446.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.