Levinson, H. J. (2020). Extreme Ultraviolet Lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.2581446
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Levinson, Harry J. Extreme Ultraviolet Lithography. SPIE, 2020. https://doi.org/10.1117/3.2581446.
Παραπομπή σε μορφή MLA (8th εκδ.)Levinson, Harry J. Extreme Ultraviolet Lithography. SPIE, 2020. https://doi.org/10.1117/3.2581446.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.