Xiao, H. (2012). Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, 2nd Ed. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.924283
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումXiao, Hong. Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, 2nd Ed. SPIE, 2012. https://doi.org/10.1117/3.924283.
MLA (8րդ խմբ.) ՄեջբերումXiao, Hong. Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, 2nd Ed. SPIE, 2012. https://doi.org/10.1117/3.924283.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.