Bakshi, V. (2018). EUV Lithography, Second Edition. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.2305675
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Bakshi, Vivek. EUV Lithography, Second Edition. SPIE, 2018. https://doi.org/10.1117/3.2305675.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 8)Bakshi, Vivek. EUV Lithography, Second Edition. SPIE, 2018. https://doi.org/10.1117/3.2305675.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.