Bakshi, V. (2018). EUV Lithography, Second Edition. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.2305675
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Bakshi, Vivek. EUV Lithography, Second Edition. SPIE, 2018. https://doi.org/10.1117/3.2305675.
Цитирование MLA (8-е изд.)Bakshi, Vivek. EUV Lithography, Second Edition. SPIE, 2018. https://doi.org/10.1117/3.2305675.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.