Bakshi, V. (2018). EUV Lithography, Second Edition. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.2305675
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Bakshi, Vivek. EUV Lithography, Second Edition. SPIE, 2018. https://doi.org/10.1117/3.2305675.
Παραπομπή σε μορφή MLA (8th εκδ.)Bakshi, Vivek. EUV Lithography, Second Edition. SPIE, 2018. https://doi.org/10.1117/3.2305675.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.