Bakshi, V. (2018). EUV Lithography, Second Edition. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.2305675
توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)Bakshi, Vivek. EUV Lithography, Second Edition. SPIE, 2018. https://doi.org/10.1117/3.2305675.
توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الطبعة الثامنة)Bakshi, Vivek. EUV Lithography, Second Edition. SPIE, 2018. https://doi.org/10.1117/3.2305675.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.