Bakshi, V. (2018). EUV Lithography, Second Edition. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.2305675
Citazione stile Chigago Style (17a edizione)Bakshi, Vivek. EUV Lithography, Second Edition. SPIE, 2018. https://doi.org/10.1117/3.2305675.
Citatione MLA (8a ed.)Bakshi, Vivek. EUV Lithography, Second Edition. SPIE, 2018. https://doi.org/10.1117/3.2305675.
Attenzione: Queste citazioni potrebbero non essere precise al 100%.