Bakshi, V. (2009). EUV Lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.769214
Chicago-referens (17:e uppl.)Bakshi, Vivek. EUV Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.769214.
MLA-referens (8:e uppl.)Bakshi, Vivek. EUV Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.769214.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.