Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Μορφή: | Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
SPIE,
2009
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | Full text available on SPIE Digital Library Off-campus access |
| Περιγραφή τεκμηρίου: | <strong>Off-Campus Access:</strong> Athens ID and Password Required <strong>On-Campus Access:</strong> No User ID or Password Required |
|---|---|
| Φυσική περιγραφή: | 1 online resource |
| Μορφή: | Mode of access: Internet |
| ISBN: | 9780819475572 9780819478436 |
| DOI: | 10.1117/3.820233 |
| Πρόσβαση: | Electronic access restricted to authorized BRAC University faculty, staff and students |