Wei, Y. (2009). Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.820233
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումWei, Yayi. Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.820233.
MLA (8րդ խմբ.) ՄեջբերումWei, Yayi. Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.820233.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.