Wei, Y. (2009). Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.820233
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Wei, Yayi. Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.820233.
Παραπομπή σε μορφή MLA (8th εκδ.)Wei, Yayi. Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.820233.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.