Wei, Y. (2009). Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.820233
শিকাগো স্টাইল (17 তম সংস্করণ) উদ্ধৃতিWei, Yayi. Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.820233.
M.L.A (8 ম সংস্করণ) উদ্ধৃতিWei, Yayi. Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.820233.
সতর্কবাণী: সাইটেশন সবসময় 100% নির্ভুল হতে পারে না.