Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 2: Micromachining and Microfabrication

Détails bibliographiques
Auteur principal: Rai-Choudhury, Prosenjit
Format: Électronique eBook
Langue:English
Publié: SPIE, 2009
Sujets:
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