Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 2: Micromachining and Microfabrication

Opis bibliograficzny
1. autor: Rai-Choudhury, Prosenjit
Format: Elektroniczne E-book
Język:English
Wydane: SPIE, 2009
Hasła przedmiotowe:
Dostęp online:Full text available on SPIE Digital Library
Off-campus access