Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 2: Micromachining and Microfabrication
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| פורמט: | אלקטרוני ספר אלקטרוני |
| שפה: | English |
| יצא לאור: |
SPIE,
2009
|
| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | Full text available on SPIE Digital Library Off-campus access |
| תאור פריט: | <strong>Off-Campus Access:</strong> Athens ID and Password Required <strong>On-Campus Access:</strong> No User ID or Password Required |
|---|---|
| תיאור פיזי: | 1 online resource |
| פורמט: | Mode of access: Internet |
| ISBN: | 9780819423795 9781510607972 |
| DOI: | 10.1117/3.2265071 |
| גישה: | Electronic access restricted to authorized BRAC University faculty, staff and students |