Rai-Choudhury, P. (2009). Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 2: Micromachining and Microfabrication. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.2265071
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Rai-Choudhury, Prosenjit. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 2: Micromachining and Microfabrication. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.2265071.
Παραπομπή σε μορφή MLA (8th εκδ.)Rai-Choudhury, Prosenjit. Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Volume 2: Micromachining and Microfabrication. SPIE, 2009. https://doi.org/10.1117/3.2265071.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.