Schellenberg, F. Alternative Lithographic Technologies. SPIE Digital Library.
Citação norma ChicagoSchellenberg, Frank. Alternative Lithographic Technologies. SPIE Digital Library.
Citação norma MLASchellenberg, Frank. Alternative Lithographic Technologies. SPIE Digital Library.
Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.