Maher, M. A. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIV. SPIE Digital Library.
Chicago (17e ed.) BronvermeldingMaher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIV. SPIE Digital Library.
MLA (8e ed.) BronvermeldingMaher, Mary Ann. Micromachining and Microfabrication Process Technology XIV. SPIE Digital Library.
Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.